[发明专利]CMP调节器无效
| 申请号： | 200580009991.9 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1938128A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 饭吉宽;木村高志;小山继久;饭塚弘明 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种在基材上表面突出的突部上粘合有磨粒的CMP调节器，其能够稳定地粘合磨粒而防止因磨粒的脱落而产生划痕等，而且能够在修整时可靠地确保在磨粒周围的突部的突出端面和垫之间保持磨削液的空间。本发明的CMP调节器是在围绕轴线旋转的基材(1)的上表面(2)上，形成从该上表面(2)突出的突部(3)、(4)，在该突部(3)、(4)上粘合多个磨粒(5)而构成，并且，磨粒(5)在朝向突部(3)、(4)的突出方向的突出端面(3A)、(4A)上，以不超出从该突出端面(3A)、(4A)的周缘(3C)、(4C)沿轴线方向延伸的假想延长面(P)的方式粘合。 | ||
| 搜索关键词： | cmp 调节器 | ||
【主权项】：
1.一种CMP调节器，是在围绕轴线旋转的基材的上表面形成从该上表面突出的突部，在该突部上粘合多个磨粒而构成，其特征在于，所述磨粒在朝向所述突部的突出方向的突出端面上，以不超出从该突出端面的周缘沿所述轴线方向延伸的假想延长面的方式粘合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱综合材料株式会社，未经三菱综合材料株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580009991.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
