[发明专利]用于制造薄膜晶体管的方法

摘要

本发明的目的是提供一种通过使用微滴排放方法以自对准的方式制造薄膜晶体管的方法，其不必考虑微滴排放装置的排放位置精度。根据本发明，可以采用有机树脂膜或类似物，并通过内腐蚀、曝光、显影等处理成为预定的形状。通过利用具有预定形状的有机树脂膜作为掩模，可以刻蚀掉含有一种导电类型杂质的半导体层。通过利用具有预定形状的有机树脂膜，可以对区域进行不同的润湿。

主权项

1.一种用于制造薄膜晶体管的方法，包括如下步骤：在具有绝缘表面的基片上形成栅电极层；在栅电极层上形成栅绝缘层；在栅绝缘层上形成第一半导体层；在第一半导体层上形成含有一种导电类型杂质的第二半导体层；在第二半导体层上形成第一掩模；利用第一掩模刻蚀第一半导体层和第二半导体层；除去第一掩模；在第二半导体层上形成第二掩模；利用第二掩模刻蚀第二半导体层的一部分，从而暴露第一半导体层的第一区；在第二掩模和第一半导体层的暴露区上施加一种溶液，从而向其提供第一润湿性；在施加该溶液之后除去第二掩模，从而暴露第二半导体层的第二区；和通过微滴排放方法在第二区上形成布线，其中第二区具有比第一润湿性更高的润湿性。