[发明专利]使IC芯片的温度维持在设定点附近的双反馈控制系统无效
| 申请号： | 200580008884.4 | 申请日： | 2005-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN1934454A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 杰里·伊霍尔·图斯塔尼乌斯凯杰;詹姆斯·威特曼·巴布科克 | 申请（专利权）人： | 三角设计公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66;H01L23/34;G05D23/19 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一双反馈控制系统在一IC芯片消耗一不同量的电功率时将所述IC芯片的温度维持在一设定点附近。第一反馈电路以一补偿所述IC芯片功率的变化的可变量值向一电加热器发送电功率。第二反馈电路以一可变流率向一连接到所述加热器的蒸发器传递一液体致冷剂，所述可变流率在所述流率固定时发生的电功率使用上减少所述加热器中的电功率使用。 | ||
| 搜索关键词： | ic 芯片 温度 维持 定点 附近 反馈 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种双反馈控制系统，其用于在一IC芯片消耗一不同量的电功率时将所述IC芯片的温度维持在一设定点附近，所述系统包含：一用于一液体致冷剂的蒸发器，和一具有连接到所述蒸发器的一个面和用于耦合到所述IC芯片的一相对面的电加热器；一耦合到所述蒸发器的蒸发器控制器，和一耦合到所述电加热器的加热器控制器；所述加热器控制器包括一第一反馈电路构件，其用于以一补偿所述IC芯片功率的变化的可变量值向所述电加热器发送电功率；和，所述蒸发器控制器包括一第二反馈电路构件，其用于以一可变流率向所述蒸发器传递所述液体致冷剂，所述可变流率在所述流率固定时所发生的电功率使用上减少所述加热器中的所述电功率使用。
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