[发明专利]形成图案的方法，薄膜晶体管，显示设备及其制造方法，以及电视设备有效
| 申请号： | 200580008835.0 | 申请日： | 2005-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1934713A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 前川慎志;城口裕子;藤井严 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L29/49;H01L21/288;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;G02F1/13;G02F1/1368;G09F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的一种形成图案的方法包括步骤：在具有透光性质的衬底上形成掩模；在衬底和掩模上形成具有包含光吸收材料的物质的第一区域；通过使用具有可由光吸收材料吸收的波长、通过衬底的光照射该物质以修改物质表面的一部分而形成第二区域；以及通过将包含图案形成材料的化合物排放到第二区域来形成图案。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 图案 方法 薄膜晶体管 显示 设备 及其 制造 以及 电视 | ||
【主权项】：
1.一种形成图案的方法，包括步骤：在透光衬底上形成掩模；在透光衬底和掩模上形成具有包含光吸收材料的物质的第一区域；通过使用光照射该物质以修改物质表面的一部分而形成第二区域，其中所述光具有可由光吸收材料吸收的波长；以及通过排放包含图案形成材料的化合物而在第二区域上形成图案。
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