[发明专利]起伏的垫修整器及其使用方法有效
| 申请号: | 200580007719.7 | 申请日: | 2005-01-25 |
| 公开(公告)号: | CN1929956A | 公开(公告)日: | 2007-03-14 |
| 发明(设计)人: | 加里·M·帕尔姆格伦 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
| 主分类号: | B24D9/08 | 分类号: | B24D9/08;B24B37/04;B24B53/007 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 刘建功;车文 |
| 地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 一种具有研磨盘(12)和起伏盘(10)的垫修整器以及使用该垫修整器的方法。起伏盘(10)具有至少一个凸出部分(26)和至少一个凹进部分(28)。研磨盘(12)可释放地固定到凹进部分(28)的至少一部分上,以形成起伏研磨表面(16)。起伏盘(10)允许改变垫修整器,以用于多种工艺和各种工件。 | ||
| 搜索关键词: | 起伏 修整 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
1.一种垫修整器,其包括:研磨盘,所述研磨盘包括研磨表面和与所述研磨表面相对的第二表面;和起伏盘,所述起伏盘具有紧邻所述研磨盘的所述第二表面的起伏表面,所述起伏盘包括至少一个凸出部分和至少一个凹进部分;其中,所述研磨盘可释放地固定到所述凹进部分的至少一部分上,以形成起伏研磨表面。
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