[发明专利]角速度传感器及其制造方法

摘要

基板由单晶硅制成且具有音叉形状。所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂和用于彼此连接所述音叉臂的相应端的连接部分。角速度传感器包括：在所述基板的所述音叉臂中的各音叉臂上提供的含有氧化硅的阻挡层；在所述阻挡层上提供的含有钛的第一粘附层；在所述第一粘附层上提供的含有钛和氧化钛中至少一者的第一电极层；在所述第一电极层上提供的取向控制层；在所述取向控制层上提供的压电层；在所述压电层上提供的第二粘附层；和在所述第二粘附层上提供的第二电极层。这种角速度传感器具有小尺寸和稳定的特性。

主权项

1.一种角速度传感器，包括：由单晶硅制成且具有音叉形状的基板，所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂，和用于使所述音叉臂的各自的一端彼此相连的连接部分；设置于所述基板的所述各多个音叉臂上的阻挡层，所述阻挡层含有氧化硅；设置于所述阻挡层上的第一粘附层，所述第一粘附层含有钛；设置于所述第一粘附层上的第一电极层，所述第一电极层含有钛和氧化钛中至少一者；设置于所述第一电极层上的取向控制层；设置于所述取向控制层上的压电层；设置于所述压电层上的第二粘附层；和设置于所述第二粘附层上的第二电极层。