[发明专利]检查阵列基板的方法无效
| 申请号： | 200580006537.8 | 申请日： | 2005-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN1926463A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 山本光浩;宫武正树 | 申请（专利权）人： | 东芝松下显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1345;G01R31/00;G09F9/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种阵列板设有多条扫描线和多条信号线在其上交叉的板、在交叉部分的附近形成在板上并包括开关元件和辅助电容器的像素部分以及与扫描线和信号线相连接并根据检查设备的探针排列而排列的多个检查焊盘行。通过将探针与检查焊盘行相连接，在各像素部分的辅助电容器中累积电荷后，检查该阵列板的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 阵列 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查阵列基板的方法，所述阵列基板包括在其末端具有用于向第一阵列供电的第一焊盘和待检查的第一电极的第一阵列基板，以及具有在其末端用于向不同于所述第一阵列的第二阵列供电的第二焊盘和待检查的第二电极的第二阵列基板，电力从所述第一焊盘和所述第二焊盘供给所述第一电极和所述第二电极，电子束被施加给所述第一电极和所述第二电极，并且基于与从所述第一电极和所述第二电极发射的二次电子有关的信息来进行与所述第一电极和所述第二电极有关的检查，所述方法包括：将所述第一焊盘连接到具有按预定排列设置的端子的检查焊盘，使具有对应于所述预定排列的排列的探针与所述端子相接触，并将电力供给所述第一电极，从而进行与所述第一阵列基板的所述第一电极有关的检查；以及将所述第二焊盘连接到具有按预定排列设置的端子的检查焊盘，在不改变其排列的情况下，使探针与所述端子相接触，并将电力供给所述第二电极，从而进行与所述第二阵列基板的所述第二电极有关的检查。
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