[发明专利]液滴沉积装置无效
| 申请号： | 200580006239.9 | 申请日： | 2005-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1925985A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 沃纳·扎普卡;约翰·科拉 | 申请（专利权）人： | XAAR科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈坚 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种液滴沉积装置。喷墨装置具有两个背对背布置在水冷底盘(100)的平行热管理表面(50a、50b)上的压电致动器(106、108)。所述底盘通过将两个热导率高的凹形塑料模制部件(102、104)结合在一起而形成。安装在两个致动器上的共用喷嘴板(112)有助于确保精确的喷嘴对准。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液滴沉积装置，该装置包括底盘以及至少第一和第二致动装置，每个致动装置包括可电致动的液滴喷射致动器、和向所述致动器提供致动信号的电驱动电路，其中所述底盘包括：两个平行的相对的热管理表面；流体内腔室，该腔室位于所述热管理表面之间，以使得所述腔室中的流体与所述表面建立热接触；以及流体端口，所述流体端口布置在所述底盘的外部上，并与所述内腔室连通以使流体通过所述内腔室供应和循环；所述第一和第二致动装置分别安装在所述两个热管理表面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于XAAR科技有限公司，未经XAAR科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580006239.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
