[发明专利]苯乙烯衍生物、苯乙烯聚合物、光敏树脂组合物和图案化方法无效
| 申请号： | 200580005915.0 | 申请日： | 2005-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1922216A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 前田胜美;中野嘉一郎 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | C08F12/32 | 分类号： | C08F12/32;C07C233/75;C07C251/24;G03F7/022;G03F7/033;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李剑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于层间绝缘膜或表面保护膜的光敏树脂组合物，该组合物具有优异的分辨率并可以采用碱性水溶液显影。所述光敏树脂组合物利用至少具有以下通式II表示的结构重复单元的聚合物来制备。在所述式中，R1代表氢原子或甲基；R2－R9独立地代表氢原子、卤原子或具有1－4个碳原子的烷基；X代表－CH＝N－、－CONH－、－(CH2)n－CH＝N－或－(CH2)n－CONH－，并且，X中的N原子键合到苯环中在邻位上具有AO－的碳原子上；A代表氢原子或可酸解的基团；并且n代表1－3的正整数。 | ||
| 搜索关键词： | 苯乙烯 衍生物 聚合物 光敏 树脂 组合 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.由通式I表示的苯乙烯衍生物：![]()
其中，R1代表氢原子或甲基；R2-R9独立地代表氢原子、卤原子或具有1-4个碳原子的烷基；X代表-CH＝N-、-CONH-、-(CH2)n-CH＝N-或-(CH2)n-CONH-，并且，X中的N原子键合到苯环中在邻位上具有AO-的碳原子上；A代表氢原子或可酸解的基团；并且n代表1-3的整数。
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