[发明专利]冷凝效应最小化的蒸汽沉积源有效
| 申请号： | 200580005611.4 | 申请日： | 2005-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN1922339A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | J·M·格雷斯;D·R·弗里曼;J·H·克卢格;N·P·雷登 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹雪梅 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于沉积材料到基体上的热物理蒸汽沉积源，所述源包含用于接纳材料的加长容器(所述容器在加长方向的流导为CB)和用于加热容器中的材料以使材料蒸发至分压为Pm的加热器。所述容器有至少一个沿其长度方向布置有多个开口的构件，所述开口的总流导为CA，其中式(I)和用于加热容器各侧的末端加热器减少材料在容器上的冷凝。 | ||
| 搜索关键词： | 冷凝 效应 最小化 蒸汽 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种用于沉积材料到基体上的热物理蒸汽沉积源，所述源包含：a)用于接纳材料的加长容器，所述容器在加长方向的流导为CB；b)用于加热容器内的材料以使材料蒸发至分压为Pm的加热器；c)所述容器有至少一个沿其长度方向布置有多个开口的构件，所述开口的总流导为CA，其中CA/CB≤0.5；和d)用于加热容器各侧以减少材料在容器上的冷凝的末端加热装置。
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