[发明专利]电子射线照射装置

摘要

一种电子射线照射装置，其至少具有电子射线生成部(R)、向被照射体(F)照射电子射线的照射室(E)、在照射室的上游侧对被照射体(F)吹出惰性气体(N)的氧气隔断部(S)，将氧气隔断部的把被照射体夹在中间的隔壁之间的间隙(Ws)，相对照射室的把被照射体夹在中间的隔壁之间的间隙(We)设定为Ws＜We，并且使间隙(Ws)在氧气隔断部的全区域上相同或大致相同，把向被照射体的处理面吹出惰性气体的吹出狭缝(S5)在隔壁上设置成既不突出也不凹陷的状态。

主权项

1.一种电子射线照射装置，其用于一边使带状被照射体行进，一边对该被照射体照射电子射线，具有：电子射线生成部，生成电子射线，并让该电子射线从透过窗部向外部放射；照射室，与该电子射线生成部的透过窗部邻接，并具有围绕周围的隔壁、在该隔壁上开口的搬入带状被照射体的搬入开口部和搬出该被照射体的搬出开口部，该照射室是填充了惰性气体的封闭空间，使从所述透过窗部放射的电子射线照射从外部搬入并行进的带状被照射体；氧气隔断部，被设置在邻接该照射室的被照射体行进方向的上游侧，是具有搬入带状被照射体的搬入开口部和搬出该被照射体的搬出开口部的封闭空间，使该带状被照射体在该封闭空间内行进，并将其导入所述照射室，同时通过对该被照射体的照射面侧吹出惰性气体，来稀释或隔断附随在该被照射体的表面附近而流入的空气中的氧气，所述氧气隔断部由与行进的带状被照射体的照射面对面的表面侧隔壁、与该被照射体的照射面相反面侧对面的背面侧隔壁、和与该被照射体的两侧面侧对面的一对侧面隔壁，将该被照射体围绕，并且该氧气隔断部的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws，与在所述照射室中把在该照射室中行进的带状被照射体夹在中间的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙We，具有Ws＜We的关系，该氧气隔断部的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws在该氧气隔断部的全区域上相同或大致相同，在该氧气隔断部的表面侧隔壁上，具有吹出惰性气体的狭缝，并且其吹出口形成为在该表面侧隔壁上既不突出也不凹陷的状态。