[发明专利]角速度传感器

摘要

本发明提供无需在振荡器上设置除驱动部及检测部以外的其他新机构的角速度传感器，即便其结构简单且为小型构造，亦能够进行高精度检测部故障诊断。从外部将用于实施故障诊断的检查信号输入到端子(54)上时，放大器(45)的放大度减小，同时因AGC电路(43)的作用而使放大器(44)的放大度增大。因此，从端子(50)、(53)可获得振幅减小的驱动信号，而从端子(51)、(52)可获得振幅增大的驱动信号。上述多个驱动信号经由端子(50)至(53)，分别被提供给以音叉型振荡器的音叉臂的中心部为分界线而隔开设置的一对驱动电极的其中一个驱动电极及另一个驱动电极。

主权项

1.一种角速度传感器，其特征在于，包括：振荡器；驱动部，设置于所述振荡器上，使所述振荡器在X轴方向及Z轴方向上激励；第一驱动电路，将使所述振荡器在X轴方向上激励的驱动信号提供给所述驱动部；第二驱动电路，将使所述振荡器在X轴方向及Z轴方向上激励的驱动信号提供给所述驱动部；检测部，为了对在Z轴方向上振动的所述振荡器的弯曲进行检测而设置于所述振荡器上；角速度检测电路，通过将驱动信号从所述第一驱动电路提供给所述驱动部，且对围绕Y轴而输入有角速度时从所述检测部中输出的信号进行放大并进行检波，从而输出角速度信号；以及，自诊断电路，通过对将驱动信号从所述第二驱动电路提供给所述驱动部时从所述检测部中输出的信号进行放大并进行检波，从而输出能够对所述检测部进行故障诊断的信号。