[发明专利]用于在偏转器系统中测量标记位置的方法

摘要

本发明涉及一种用于在偏转器系统中确定任意形状图案坐标的方法。该方法主要包括步骤：在第一方向(X)上移动图案，通过计数在垂直方向(X)上直至探测到边缘为止所实行的微扫描数目来计算图案边缘的位置，以及通过将计数得到的微扫描的数目与图案的运动速度相相关来确定坐标。本发明还涉及到实现本方法的软件。

主权项

1.一种用于确定偏转器系统内一表面上任意形状图案的坐标的方法，其特征在于所述的方法包括步骤：a)选择定义第一方向(X)上运动的参考时钟信号(λ/2)，b)提供在垂直于第一方向(X)的第二方向(Y)上重复扫描所述表面的微扫描，c)选择与用于启动第二方向(Y)上的每个微扫描的信号相关的测量时钟信号(SOS)，d)调整第一方向(X)上的运动速度来确定每次微扫描开始之间的距离，e)实行第一运行包括步骤：e1)在起始位置开始第一微扫描，e2)当所述任意形状图案相对于偏转器系统在第一方向(X)上移动时，测到所述图案的至少一个边缘，e3)如果探测到所述图案的边缘，则产生至少一个事件，以及e4)计数所实行的微扫描的数目直到每个事件均已产生，以及f)对每一个事件，利用所实行的微扫描的数目来计算所述边缘在第一方向(X)上的坐标。