[发明专利]压电元件的制造方法无效
| 申请号： | 200580003619.7 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1914745A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 安部隆;李丽 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/09;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 掩蔽剂作为图案化膜12涂布到将被处理的压电材料11的表面，其通过接触到溶剂蒸气V而液化，并通过其表面张力而修整为圆顶掩模14。当压电材料和圆顶掩模14一起进行干蚀刻时，它的表面被处理为对应于圆顶掩模14的厚度分布的凸形轮廓。通过利用抗油剂13处理压电材料11，从而控制圆顶掩模14的分布和形状，从而限制掩蔽剂重熔到特定区域。被处理的压电材料的表面轮廓的中心处具有大的质量，从而适于主振荡而没有寄生振荡。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造压电元件的方法，包括以下步骤：涂布掩蔽剂到将被处理的压电材料的表面；将掩蔽剂的膜成形为预定掩蔽图案；保持该膜接触到用于掩蔽剂的溶剂，从而在压电材料的表面上将该膜液化为圆顶形状；以及将压电材料处理为对应于圆顶形状的厚度分布的三维凸形轮廓。
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