[发明专利]废气处理方法以及废气处理装置无效
| 申请号： | 200580003361.0 | 申请日： | 2005-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1913956A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;长谷川英晴;石原良夫;铃木克昌 | 申请（专利权）人： | 大阳日酸株式会社;大见忠弘 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01J3/00;B01J19/08;B01J19/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在本发明的废气处理方法中，将在半导体装置的制造设备内处于激励状态的废气，以减压状态下导入到处理部的等离子处理部，由在等离子处理部中产生的等离子来维持激励状态的状态下，导入到反应除去部的反应器中，与填充在反应器中的由粒状氧化钙构成的反应除去剂发生反应而除去废气中的有害气体成分。也可以向等离子处理部供氧，在等离子的存在下，氧化分解有害气体成分之后，使之与反应除去剂发生反应。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1、一种废气处理方法，该废气含有在由有机金属气体、金属氢化物气体以及卤化物气体构成的群组中选择的至少一种有害气体成分，该废气处理方法的特征在于，使所述废气的至少一部分成为激励状态，在减压下与含有钙化合物的反应除去剂发生反应。
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