[发明专利]探针卡无效
申请号: | 200580002852.3 | 申请日: | 2005-01-20 |
公开(公告)号: | CN1910460A | 公开(公告)日: | 2007-02-07 |
发明(设计)人: | 保坂久富 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于使接触器与被检体不受热量的影响而可靠地电连接,并能够缩短预热时间,进而提高效率。本发明的探针卡包括:接触器;印制线路板;处于上述接触器与上述印制线路板之间并使这二者弹性地电接触的内插器;将它们一体化的连结部件;以及对通过该连结部件而一体化的印制线路板进行加强的加强部件。 | ||
搜索关键词: | 探针 | ||
【主权项】:
1.一种探针卡,所述探针卡用于对被检体进行电气特性检查,其包括:接触器;电路基板;处于上述接触器与上述电路基板之间并使这二者弹性地电接触的中间部件;将它们一体化的连结部件;以及对通过该连结部件而一体化的上述电路基板进行加强的加强部件。
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