[实用新型]一种多弧离子镀工件温度检测装置

摘要

一种多弧离子镀工件温度检测装置，公转台固定在真空室内，工件设置在自转台上，自转台固定在公转台的上面，热电偶的一端与工件焊接固定连接，另一端与两个导电环相连接，压缩弹簧的下端与导电柱连接固定，导电柱的下端与两个导电环接触，压缩弹簧的上端与补偿导线连接，补偿导线通过方型钢管的内孔引到真空室的外侧，并与数码显示仪和记录仪串连，在多弧离子镀时，不同温度工件会产生不同的热电势，这样通过热电势实时检测和监控工件上温度，确保多弧离子镀的产品质量，本实用新型具有结构简单、能实时检测、效率高、检测准确、成本低等优点，并提高了工件镀膜质量、节省气体和金属离子源。

主权项

1、一种多弧离子镀工件温度检测装置，其特征是，包括真空室、公转台、自转台、热电偶、导电柱、弹簧、绝缘柱、方型钢管、屏蔽罩、补偿导线、屏蔽网、数码显示仪、记录仪、导电环，公转台固定在真空室内，工件设置在自转台上，自转台固定在公转台上，圆柱体固定在公转台的上面，连杆固定在圆柱体和自转台之间，热电偶固定在连杆上，热电偶的一端与工件固定连接，另一端与两个导电环相连接，两个导电环设置在绝缘板的上面，方型钢管的上端固定在真空室上盖的下面，绝缘柱固定在方型钢管的下端，绝缘柱的内孔里装有压缩弹簧，压缩弹簧的下端与导电柱连接固定，导电柱的下端与两个导电环接触，压缩弹簧的上端与补偿导线连接，补偿导线穿过方型钢管的内孔引到真空室的外侧，并与数码显示仪和记录仪串连，补偿导线的外面设置有屏蔽网，屏蔽罩设置在公转台的上面。