[实用新型]真空锁系统无效
| 申请号： | 200520142506.2 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2892882Y | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/425;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空锁系统，其中转动电机与动力传动器通过螺钉安装在侧板的上端；下链轮通过链条与上链轮连接；下链轮通过销钉与偏心轴连接；转动轴承安装在偏心轴的末端并推动着转动密封板绕着轴套座转动，直到转动密封板与真空锁腔体的密封面紧紧的贴在一起；偏心轴的另一个末端与回程定位块连接，信号板与光电传感器，差分抽气口设置在侧板上，并与差分抽气法兰中间的预抽真空空间连通，该系统能快速稳定的建立靶室系统所必须的高真空环境，这样很大程度上提高了单位时间内离子注入机的工作效率，并且很大程度上增加了抱轴密封的可靠性，提高了真空锁的稳定性，减轻了真空锁频繁工作给高真空泵带来的冲击。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
【主权项】：
1、一种真空锁系统，其特征在于包括转动密封板、真空锁腔体、转动轴承、偏心轴、差分抽气法兰、侧板、差分抽气口、下链轮、信号板、传动链条、光电传感器、上链轮、动力传动器、轴套座、转动电机、回程定位块，其中转动电机与动力传动器通过螺钉安装在侧板的上端；下链轮通过链条与上链轮连接；下链轮通过销钉与偏心轴连接；转动轴承安装在偏心轴的末端；偏心轴的另一个末端与回程定位块连接，信号板与光电传感器，差分抽气口设置在侧板上，并与差分抽气法兰中间的预抽真空空间连通。
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