[实用新型]一种积木式多用途真空镀膜机无效
| 申请号： | 200520132792.4 | 申请日： | 2005-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN2931493Y | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 王福贞 | 申请（专利权）人： | 王福贞 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100106北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种积木式多用途真空镀膜机，镀膜室上匹配柱状镀膜源、平面阴极电弧蒸发源、平面磁控溅射靶、电阻蒸发源、离子源，各种源的接口通用性强、互换方式简便。镀膜机匹配与各种源相适应的多种新电源、抽真空系统、气进气系统、工件加热系统、工件转架。根据需要，各种镀膜源和电源可以方便地互换，进行多种组合，用于沉积多种膜系的多层膜，做到一机多用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 积木 多用途 真空镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种积木式多用途真空镀膜机，其特征在于，镀膜室(15)上匹配柱状镀膜源(13)、平面阴极电弧蒸发源(9)、平面磁控溅射靶(8)、电阻蒸发源(12)、离子源(7)，各种源的接口通用，镀膜机匹配与各种源相适应的电源和抽真空系统(5)、进气系统(14)、工件加热系统(11)、工件转架(10)。
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