[实用新型]石英晶圆切割机的带锯调整装置

摘要

本实用新型公开了一种石英晶圆切割机的带锯调整装置，其包含一具有中空部且一端具有套接孔的座体；一活动设置于座体中空部中的轴座，该轴座具有一轴套，该轴套延伸有一柄部，该柄部具有一顶掣于套接孔外侧面的调整元件；二分别活动接合于座体二侧的导轨；一具有传动杆可活动设置于套接孔中的致动元件。根据上述方案，可将带锯调整至最佳的切割角度及张力，而于切割时具有高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效，并可同时达到增加切割速度、延长带锯寿命及迅速更换带锯的效果。

主权项

1.一种石英晶圆切割机的带锯调整装置，其特征在于，包括有：一座体，该座体具有一中空部，且该座体的一端具有一套接孔；一轴座，该轴座活动设置于上述座体的中空部中，且该轴座具有一轴套，该轴套延伸有一柄部，该柄部具有一顶掣于套接孔外侧面的调整元件；二导轨，该导轨分别活动接合于上述座体的二侧；以及一致动元件，该致动元件具有一活动设置于上述座体套接孔中的传动杆。