[实用新型]晶体生长炉的插板阀部件无效
| 申请号： | 200520129468.7 | 申请日： | 2005-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN2890097Y | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 李润源;付一凡;周世增 | 申请（专利权）人： | 北京京仪世纪自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100079北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种晶体生长炉的插板阀部件，阀盖水冷用的进出水软管通过进出水管座装在阀体内，且可随阀盖的移动而在内部运动，同时用一个连杆连接阀盖与导板，通过弹簧和顶杆使二者平面贴紧，通过手把实现阀盖的轴向启闭和水平移开。由于水冷软管内置并在内部运动，避免水管通过密封口运动带来的工作不可靠及尺寸变大。由于只用一个连杆，结构简单可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 插板 部件 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶体生长炉的插板阀部件，其特征在于：阀盖水冷用的进出水软管设置在阀体内部，阀盖与导板之间用一个连杆相连，并通过顶杆和弹簧实现平面贴紧。
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