[实用新型]数字式光学膜厚控制仪无效
| 申请号： | 200520116414.7 | 申请日： | 2005-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN2883398Y | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 郑睿敏;郑睿韬;赵志跃 | 申请（专利权）人： | 郑睿敏;郑睿韬 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州天欣专利事务所 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 310012浙江省杭州市西湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种数字式光学膜厚控制仪，包括放大器、滤波器、A/D模块、嵌入式计算机系统、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口，放大器与参考信号、测试信号以及滤波器连接，滤波器与A/D模块连接，嵌入式计算机系统与A/D模块、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口连接，嵌入式计算机系统中设置有用软件构造的参考信号处理器、数字锁相器、减法器、信号处理器、数据处理器、控制与显示器以及数据存储和通讯器，数据处理器和控制与显示器、数据存储和通讯器连接，控制与显示器与开关、显示器连接，数据存储和通讯器与存储器、通讯接口连接。本实用新型结构合理，安全可靠，提高了整机的抗干扰能力和镀膜产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 数字式 光学 控制 | ||
【主权项】：
1、一种数字式光学膜厚控制仪，包括放大器、滤波器、A/D模块、嵌入式计算机系统、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口，放大器与参考信号、测试信号以及滤波器连接，滤波器与A/D模块连接，嵌入式计算机系统与A/D模块、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口连接，其特征在于：所述嵌入式计算机系统中设置有用软件构造的参考信号处理器、数字锁相器、减法器、信号处理器、数据处理器、控制与显示器以及数据存储和通讯器，参考信号经参考信号处理器后和与其匹配的经数字锁相器后的测量信号进入减法器得到减法数据，减法数据经信号处理器得到有效信号并通过数据处理器得到控制信号和显示数据、存储数据、通讯数据，数据处理器和控制与显示器、数据存储和通讯器连接，控制与显示器与开关、显示器连接，数据存储和通讯器与存储器、通讯接口连接。
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