[实用新型]电浆清洗用托盘无效

专利信息
申请号: 200520110212.1 申请日: 2005-06-16
公开(公告)号: CN2842727Y 公开(公告)日: 2006-11-29
发明(设计)人: 许晋荣 申请(专利权)人: 威盛电子股份有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型是有关于一种电浆清洗用托盘,用以承载至少一欲以电浆清洗的平板,平板具有一第一面及相对的一第二面。托盘包括一底板、多数个抬升凸条与多数个定位凸条。底板具有一承载面。多数个抬升凸条连接至底板,并相对突出于承载面,用以支撑平板的第二面的边缘,使得平板的第二面朝向底板的承载面,并与底板之间构成一开放空间。多数个定位凸条分别连接至这些抬升凸条,适于接触平板的侧缘,用以将平板相对定位于底板的承载面的上方。因此,当进行电浆清洗时,平板双面皆可达到有效的清洁效果,并且避免因电弧效应而导致平板的氧化与侵蚀。
搜索关键词: 清洗 托盘
【主权项】:
1、一种电浆清洗用托盘,用以承载至少一欲以电浆清洗的平板,其中该平板具有一第一面及相对的一第二面,其特征在于该托盘包括:一底板,具有一承载面;多数个抬升凸条,连接至该底板,并相对突出于该承载面,用以支撑该平板的该第二面的边缘,使得该平板的该第二面朝向该底板的该承载面,并与该底板之间构成一开放空间;以及多数个定位凸条,分别连接至该些抬升凸条,该些定位凸条用以将该平板相对定位于该底板的该承载面的上方。
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