[实用新型]电浆清洗用托盘无效
| 申请号: | 200520110212.1 | 申请日: | 2005-06-16 |
| 公开(公告)号: | CN2842727Y | 公开(公告)日: | 2006-11-29 |
| 发明(设计)人: | 许晋荣 | 申请(专利权)人: | 威盛电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
| 地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本实用新型是有关于一种电浆清洗用托盘,用以承载至少一欲以电浆清洗的平板,平板具有一第一面及相对的一第二面。托盘包括一底板、多数个抬升凸条与多数个定位凸条。底板具有一承载面。多数个抬升凸条连接至底板,并相对突出于承载面,用以支撑平板的第二面的边缘,使得平板的第二面朝向底板的承载面,并与底板之间构成一开放空间。多数个定位凸条分别连接至这些抬升凸条,适于接触平板的侧缘,用以将平板相对定位于底板的承载面的上方。因此,当进行电浆清洗时,平板双面皆可达到有效的清洁效果,并且避免因电弧效应而导致平板的氧化与侵蚀。 | ||
| 搜索关键词: | 清洗 托盘 | ||
【主权项】:
1、一种电浆清洗用托盘,用以承载至少一欲以电浆清洗的平板,其中该平板具有一第一面及相对的一第二面,其特征在于该托盘包括:一底板,具有一承载面;多数个抬升凸条,连接至该底板,并相对突出于该承载面,用以支撑该平板的该第二面的边缘,使得该平板的该第二面朝向该底板的该承载面,并与该底板之间构成一开放空间;以及多数个定位凸条,分别连接至该些抬升凸条,该些定位凸条用以将该平板相对定位于该底板的该承载面的上方。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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