[实用新型]连续镀膜装置用加热器无效
申请号: | 200520106338.1 | 申请日: | 2005-08-25 |
公开(公告)号: | CN2846440Y | 公开(公告)日: | 2006-12-13 |
发明(设计)人: | 杨坚;古宏伟;冯彬;金振奎;刘慧舟;屈飞;马平 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱丽华 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种连续镀膜装置用加热器,它包括:一由外围板围合的腔体,侧面开轴向通口,内置一组加热灯管。长腔体内的前、后及上侧均设有一层以上的挡板。在加热灯管下侧设一可抽拉的石英挡板。在加热器的固接一用于与外界固定的支架。本实用新型可适用于连续镀膜装置的连续镀膜加热。 | ||
搜索关键词: | 连续 镀膜 装置 加热器 | ||
【主权项】:
1、一种连续镀膜装置用加热器,其特征在于它包括:一由外围板围合的长腔体,下侧开轴向通口,内置一组加热灯管。
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