[实用新型]溅射离子泵的电源无效
| 申请号： | 200520078831.7 | 申请日： | 2005-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN2839301Y | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 杨晓天;张军辉;游志明;高大庆;蒙峻;胡振军;张喜平;候生军;张新俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晋 |
| 地址： | 730000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种用于向抽取高真空的溅射离子泵供电的电源。本实用新型是将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本实用新型可以同时向至少两台溅射离子泵供电。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 离子 电源 | ||
【主权项】：
1、溅射离子泵的电源，包括变压电路、升压整流电路，以及电源电压、电源电流计量显示电路、安全保护电路和控制开关，其特征在于电源的输出端为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。
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