[实用新型]气体激光射频激励驱动系统

摘要

本实用新型是一种气体激光射频激励驱动系统，该驱动系统包括射频源、等离子激光管、电场输入接口及放电部份，由一个射频源产生射频电力，通过四分一波长传输线传送到等离子激光管里，传输线是微带传输线，微带传输线拥有输入及输出端，输入端连接射频源，输出端连接等离子激光管输入端，在此特定操作频率产生的射频能量，射频源的阻抗比等离子激光管的阻抗为低，微带传输线其阻抗介于来源阻抗及等离子激光管阻抗之间，四分一波长传输线加强起始激励电压，提高转换效率，及保持激光输出能量稳定。微带传输线将整体长度缩短，同时减少电阻的损失和杂散辐射。可设置在一个高电介质系数的高电介质基板上，能承受高温，散热迅速，因此达到增强电路板的可靠性。

主权项

1、一种气体激光射频激励驱动系统，该驱动系统包括射频源、等离子激光管、电场输入接口及放电部份，由一个射频源产生射频电力，通过四分一波长传输线传送到等离子激光管里，其特征在于传输线是微带传输线，微带传输线拥有输入及输出端，输入端连接射频源，输出端连接等离子激光管输入端，射频源的阻抗比等离子激光管的阻抗为低，微带传输线其阻抗介于来源阻抗及等离子激光管阻抗之间。