[实用新型]直流辉光等离子体气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种直流辉光等离子体气相沉积装置，它包括真空反应罩、上进气管、下进气管、绝缘座，特征是在真空反应罩内的石英反应腔上方依次安装有冷却室、下气腔和上气腔，上、下出气管的上端分别伸在上、下气腔内，上出气管的下端穿过等离子体区，下出气管的出口在等离子体区的上方，两个气管呈均匀间隔排列，均垂直于石墨台；在石英反应腔两侧的阳极和阴极呈竖直方向并排对立；石墨台由与转动杆相连接的石英托板支撑，通过电动机带动石墨台转动，欲沉积薄膜的基片放在石墨台上表面的钽片上，在石墨台底部下方装有测温热电偶和高频加热器。本实用新型能在单晶硅或蓝宝石上生长出高度择优取向氧化锌薄膜，质量稳定，生长速率高。

主权项

1、一种直流辉光等离子体气相沉积装置，包括真空反应罩(1)、上进气管(14)、下进气管(15)、绝缘座(19)，其特征在于：在真空反应罩(1)内中间的绝缘座(19)上方安装有石英反应腔(18)，在石英反应腔(18)上方安装有侧边连接了进水管(22)和出水管(23)的冷却室(11)，在冷却室(11)上方依次安装有分别接有上进气管(14)、下进气管(15)的上气腔(12)、下气腔(13)，上出气管(9)、下出气管(10)的上端分别伸在上气腔(12)、下气腔(13)内，下端穿过冷却室(11)伸入石英反应腔(18)内；在石英反应腔(18)的两侧分别安装有阳极(8)和由金属钽构成的阴极(17)，阳极(8)和阴极(17)呈竖直方向并排对立，阳极(8)和阴极(17)通过外套有屏蔽管(4)的高压电极杆(2)分别与固定在石英反应腔(18)外的绝缘座(19)上的阳极座(24)和阴极座(25)相连接，在两极间加直流高压，阳极(8)和阴极(17)之间产生等离子体；在石英反应腔(18)的底部、上出气管(9)和下出气管(10)的正下方、等离子体区(16)的下方安装有石墨台(26)，石墨台(26)由石英托板(3)支撑，转动杆(27)的顶端安装在石英托板(3)的下方，底端与固定在真空反应罩(1)下方的电动机(20)的输出轴连接；在石墨台(26)底部下方装有测温热电偶(21)，石墨台(26)底部还安置有高频加热器(5)，给石墨台(26)加热，石墨台(26)和高频加热器(5)呈水平放置且与阳极(8)和阴极(17)垂直。