[实用新型]电光波导光学相位调制器列阵无效
| 申请号： | 200520041530.7 | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN2783366Y | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 董作人;方祖捷;瞿荣辉;刘峰;叶青;秦世博 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电光波导光学相位调制器列阵，该电光波导光学相位调制器列阵的构成自下而上依次是：衬底、下电极、电光薄膜波导和上电极，所述的电光薄膜波导包括下包层、电光波导层和上包层，所述的上包层和电光波导层被多条直线形隔离沟隔成多条条形列阵结构，所述的上电极呈多条条形电极结构，所述的下电极为接地电极；所述的上电极的条形电极通过电极引线分别与驱动电压源相连，该驱动电压源再与计算机相连。本实用新型具有工作电压低、光束扫描的角度范围大、稳定性好、调制速度快和工作波长范围大等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电光 波导 光学 相位 调制器 列阵 | ||
【主权项】：
1、一种电光波导光学相位调制器列阵，特征在于其构成自下而上依次是：衬底(2)、下电极(3)、电光薄膜波导(1)和上电极(4)，所述的电光薄膜波导(1)包括下包层(11)、电光波导层(10)和上包层(12)，所述的上包层(12)和电光波导层(10)被多条直线形隔离沟(13)隔成多条条形列阵结构，所述的上电极(4)呈多条条形电极，所述的下电极(3)为接地电极；所述的上电极(4)的每一条形电极通过电极引线(41)分别与驱动电压源(5)相连，该驱动电压源(5)再与计算机(6)相连。
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