[实用新型]化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置无效
| 申请号： | 200520018056.6 | 申请日： | 2005-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN2788892Y | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 苏小平;杨海;余怀之;鲁泥藕;霍承松;石红春 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，它包括有：洗涤塔、填料、喷淋头，喷淋头设置在填料的上部，在洗涤塔的上端设有排气管，在洗涤塔的下端连接有排液管，在洗涤塔侧壁设有尾气进气管；所述的排液管与一废液处理箱连接，该废液处理箱内设置有过滤网，该废液处理箱的出液管与循环泵连接，该循环泵再与喷淋头循环管连接。所述的废液处理箱内纵向设置有第一、第二两层过滤网，该两层过滤网将废液处理箱内分成三个区域，废液处理箱内的进液端一侧为第一区域、中部为第二区域、另一侧为第三区域。本实用新型的优点是：结构简单、使用方便、经过逆流填料塔处理后的尾气中H2Se气体的含量＜0.02ppm，符合安全排放要求，而且也更经济实用。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 方法 制备 硒化锌 系统 剧毒 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，它包括有：洗涤塔、填料、喷淋头，填料设置在洗涤塔内，喷淋头设置在洗涤塔内填料的上部，在洗涤塔的上端设有排气管，在洗涤塔的下端连接有排液管，在填料下部的洗涤塔侧壁设有尾气进气管；其特征在于：所述的排液管与一废液处理箱连接，该废液处理箱内设置有过滤网，该废液处理箱的出液管与循环泵连接，该循环泵再与喷淋头循环管连接。
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