[实用新型]盘片搬送装置

摘要

一种盘片搬送装置，具有：搬送滚子(16)；转台(38)和夹头(37)；凸轮板(13)；触发板；第1施力装置；导座(15)；支臂滚子(14)和第2施力装置(53)，导座(15)与支臂滚子(15)，在其间不夹有盘片的状态下相抵接，第2施力装置(53)在施力被保持的状态下安装在导座(15)与支臂滚子(14)的抵接部上，且在导座(15)与搬送滚子(16)之间有盘片时伸长，发挥着使导座(15)拉到搬送滚子(16)侧的施力作用。采用本结构，可对另外系统的施力分别予以适当设定。

主权项

1.一种盘片搬送装置，其特征在于，包括：将被插入的盘片搬送到夹紧位置的搬送滚子；具有将搬送到所述夹紧位置的所述盘片夹持的转台及夹头、至少使所述转台或所述夹头移动的凸轮板；通过所述盘片的向所述夹紧位置的搬送而移动、并将驱动力的传递路径从所述搬送滚子侧切换为所述凸轮板侧的触发板；对所述触发板向移动前的位置施力的第1施力手段；将所述盘片推压至所述搬送滚子的导座；将所述搬送滚子夹持而被设置于所述导座的反向侧、并使所述导座朝离开所述搬送滚子的方向移动的支臂滚子；以及设置于所述导座与所述支臂滚子之间的第2施力手段，所述导座与所述支臂滚子在其间未夹持有所述盘片的状态下抵接，所述第2施力手段，以施力被抵接部保持的状态而被安装在所述导座和所述支臂滚子上，且在所述导座与所述搬送滚子之间有所述盘片时伸展，发挥将所述导座拉向所述搬送滚子侧的施力作用。