[实用新型]静电卡盘装置无效
| 申请号： | 200520001648.7 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN2774712Y | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 孙亚林 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;B23Q3/154;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种静电卡盘装置，通过在其正、负电极基体上接通直流电压后，在电极体表面产生库仑引力，吸附晶体，完成晶体的加工过程，同时利用电极基体中液体的循环流动控制卡盘的温度和气体背吹原理来均衡晶片温度。气体背吹原理降低晶片温度和电极体中液体的循环流动控制卡盘的温度，从而保证产品的加工质量。它解决了以往晶片加工过程中晶片加工面积利用率低、质量不稳定，生产效率低的缺点。提供了一种既操作方便、快捷，加工质量稳定、可靠，又有效改善加工环境，提高加工效率的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
1、一种静电卡盘装置，其特征在于由正电极基体、负电极基体、绝缘基座及导线组成；正电极基体与负电极基体组合成电极体，正电极基体与负电极基体的表面覆盖有绝缘层，电极体安装于绝缘基座上；正电极基体与负电极基体通过导线与电源相连。
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