[发明专利]一种氧化锌材料发光二极管的制备方法无效
| 申请号： | 200510200730.7 | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1787248A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 边继明;杜国同;胡礼中;刘维峰;王新盛;梁红伟 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01S5/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 侯明远 |
| 地址： | 116024*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于半导体发光器件及其制备方法技术领域，涉及一种氧化锌材料发光二极管的制备方法。其特征是在不同的衬底材料表面上，采用超声雾化热分解方法，依次生长p－型和n－型Zn(Mg)O薄膜而制得ZnO基p－n结材料。通过控制先驱体溶液浓度及配比、衬底温度、成膜气氛及雾化气量可实现对制得ZnO基p－n结材料电学性能的控制，以满足制备氧化锌基发光二极管(LEDs)，激光二极管(LDs)等光电子器件方面的需要。通过标准半导体工艺制备上下欧姆接触电极，即可获得氧化锌材料发光二极管。本发明的效果和益处在于提供一种工艺简单易行的制备氧化锌发光二极管(LEDs)的方法。氧化锌材料p－n结室温电注入发光的实现必将进一步促进ZnO光电信息功能材料和器件的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 材料 发光二极管 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌材料发光二极管的制备方法，其特征是在不同的衬底材料表面上，采用超声雾化热分解方法，依次生长p-型和n-型Zn(Mg)O薄膜而制得ZnO基p-n结材料；通过控制先驱体溶液浓度及配比、衬底温度、成膜气氛及雾化气量可实现对制得ZnO基p-n结材料电学性能的控制，以满足制备氧化锌基发光二极管(LEDs)，激光二极管(LDs)等光电子器件方面的需要；通过标准半导体工艺制备上下欧姆接触电极，即可获得氧化锌材料发光二极管。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连理工大学，未经大连理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510200730.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
