[发明专利]利用透明块缩小光斑无效
| 申请号： | 200510138026.3 | 申请日： | 2005-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1797069A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | A·盖塔;D·柯恩古特 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于缩小光斑的装置，包括第一相干性降低元件，它具有由一组第一透明部件组成的第一阵列，第一透明部件被设置为各自接收入射在第一透明元件上的准直光束的不同的第一部分，第一透明部件相对于穿过其中的光束各自产生至少两种不同的光程，并输出相应的第一部分作为各自第一准直子光束。该装置还包括第二相干性降低元件，它具有由一组第二透明部件组成的第二阵列，第二透明部件被设置为接收所述光束中的每个第一准直子光束的各自不同的第二部分，第二透明部件相对于穿过其中的光束各自产生至少两种不同的光程，并输出相应的第二部分作为各自第二准直子光束。该装置还包括一光合成器，用于将第二准直子光束合成为一准直输出光束。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 透明 缩小 光斑 | ||
【主权项】：
1、一种用于缩小光斑的装置，包括：第一相干性降低元件，它包含由一组第一透明部件组成的第一阵列，所述第一透明部件被设置为各自接收一光束中不同的第一部分，所述第一透明部件相对于穿过其中的光束具有至少两种不同的光程，并输出所述相应的第一部分作为各自基本上准直的第一子光束；以及，第二相干性降低元件，它包含由一组第二透明部件组成的第二阵列，所述第二透明部件被设置为接收每个所述第一子光束的各自不同的第二部分，所述第二透明部件相对于穿过其中的光束具有至少两种不同的光程，并输出所述相应的第二部分作为各自基本上准直的第二子光束。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料以色列公司，未经应用材料以色列公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510138026.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：喷墨打印机
- 下一篇：通过信任介质的用于非信任介质设备配置的可扩展架构
