[发明专利]无掩模应用中指示衬底上故障的系统和方法无效
| 申请号： | 200510137836.7 | 申请日： | 2005-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1797219A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | M·H·H·霍克斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 用于指示衬底上故障的方法和系统。本发明的方法包括以下步骤。确定数据是否包括至少一个可疑位。利用所述数据控制图案发生器。利用所述图案发生器使辐射束具有图案。将具有图案的辐射束中的特征投射到衬底的目标部分。将具有图案的辐射束中的一个或多个标记投射到所述衬底上，指示与至少一个可疑位相对应的目标部分。 | ||
| 搜索关键词： | 无掩模 应用 指示 衬底 故障 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于指示衬底上故障的方法，所述方法包括：(a)确定数据是否包括至少一个可疑位；(b)利用所述数据控制图案发生器；(c)利用所述图案发生器使辐射束具有图案(d)将所述具有图案的辐射束中的特征投射到衬底的目标部分上；以及(e)将所述具有图案的辐射束中的一个或多个标记投射到所述衬底上，指示与在步骤(a)中所确定的至少一个可疑位相对应的所述目标部分。
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