[发明专利]电子发射元件及其制造方法、以及电光学装置、电子仪器无效
| 申请号： | 200510135780.1 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1801429A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 篠崎顺一郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J1/316 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种电子发射特性不均小且容易制造的电子发射元件及其制造方法、和具备电子发射元件的电光学装置、电子仪器。在元件基板(11)上，利用液滴喷出法将导电性功能液(30)进行图案配置，通过干燥而形成导电膜(12)。而且，在导电膜(12)上通过同样的工序将抗蚀剂膜(33)进行图案形成，将抗蚀剂膜(33)作为掩模，将导电膜(12)的外缘部(12a)进行蚀刻而除去。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 发射 元件 及其 制造 方法 以及 光学 装置 电子仪器 | ||
【主权项】：
1、一种电子发射元件的制造方法，其中所述电子发射元件发射来自形成于导电膜上的电子发射部的电子，该方法的特征在于，具有：成膜工序，其利用液滴喷出法在基板上将所述导电膜进行图案形成；整形工序，其将所述导电膜的一部分进行选择而除去；和电子发射部形成工序，其在所述导电膜上形成所述电子发射部。
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