[发明专利]负型光阻剂组合物

摘要

本发明是关于一种负型光阻剂组合物，尤其一种含有聚亚酰胺的负型光阻剂组合物。本发明的负型光阻剂组合物的一主要成份为(a)聚亚酰胺其具有悬垂的－COOH(羧酸基)且部分的羧酸基与带有环氧基团的(甲基)丙烯酸酯单体(glycidyl(meth)acrylate)反应形成键结，而残留的另一部分羧酸基与另外添加的成份(b)带有第三胺基及C＝C双键的单体形成离子键结。本发明的负型光阻剂组合物的另一成份(c)为光起始剂(photoinitiator)或称光敏感剂(photosensitizer)。以上成份(a)至(c)均溶解于一溶剂中。

主权项

1.一种负型光阻剂组合物，包含于一溶剂中的a)具有式(I)的聚亚酰胺；b)含有第三胺基的不饱和乙烯基单体；及c)光起始剂，其中光起始剂的量为该聚亚酰胺(I)固体重量的0.1～30％，该单体的量为聚亚酰胺(I)所含的羧酸基的摩尔数的70～130％，式(I)中Ar₁为四价基；Ar₂为二价基；Ar₃为含有羧酸基的二价基；Ar₄为含有-CH₂-C(OH)H-CH₂-O-C(O)-C(R)＝CH基的二价基，其中R为H或甲基；m+n+o＝1，0.1≤n+o≤0.6，且n∶o＝9∶1～4∶6。