[发明专利]一种微悬臂梁的品质因数控制系统无效
| 申请号： | 200510133694.7 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1800850A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 李艳宁;房轩;曾周末;汪燕;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N33/48 | 分类号： | G01N33/48;G01N13/10;H01L49/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种微悬臂梁的品质因数控制系统，它包括正反馈环路模块和锁相环路模块。其中，正反馈环路模块，它包括一个可变增益放大器、一个可变移相器以及一个加法器，用于增加微悬臂梁的品质因数，并输出F1＝F0eiωt到压电驱动器，将调制过的信号加入到微悬臂梁的驱动信号中。锁相环路模块包括低通滤波器、相位检测器和电压控制振荡器，用于跟踪微悬臂梁的谐振频率，同时产生输出F2＝GAei(ωt－Φ+π/2)到压电驱动器。本发明不仅使AC检测法在液体中有更高的灵敏度，克服微悬臂梁在液体中形变漂移对检测的影响，也可以有效地提高传感器的线性范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 品质因数 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种微悬臂梁的品质因数控制系统，它包括正反馈环路模块(20)和锁相环路模块(30)。其中，正反馈环路模块，它包括一个可变增益放大器(21)、一个可变移相器(22)以及一个加法器(23)，用于增加微悬臂梁的品质因数，并输出F1＝F0eiωt到压电驱动器，将调制过的信号加入到微悬臂梁的驱动信号中。锁相环路模块(30)包括低通滤波器(31)、相位检测器(32)和电压控制振荡器(33)，用于跟踪微悬臂梁的振动频率和相位，同时产生输出F2＝GAei(ωt-φ+π/2) 到压电驱动器。
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