[发明专利]检查基板处理装置的方法和存储用于执行该方法的检查程序的存储介质

摘要

一种检查基板处理装置的方法，其能够防止将产品基板提供到要被检查的基板处理室，并在希望的时间检查基板处理室。根据操作者选择菜单选项“QC模式”，或者响应来自主机的指令，禁止产品晶片W(产品基板)被输送到要被检查的处理单元(基板处理室)。响应存储在连接到相关联的装载口24的载体中的晶片是QC晶片这个事实的通知，允许将QC晶片从连接到相关联的装载口24的载体输送到要被检查的处理单元。

主权项

1.一种检查基板处理装置的方法，该基板处理装置包括至少一个用于处理产品基板的基板处理室和连接到所述基板处理室并用于输送所述产品基板的基板输送室，该基板输送室具有至少一个连接到装有所述产品基板的容器的入口，并且通过该入口将所述产品基板从所述容器提供到基板处理室，该检查基板处理装置的方法包括：响应外部指令，禁止将所述产品基板输送到所述基板处理室的基板输入禁止步骤；和响应预定容器装有检查基板的通知，允许将所述检查基板从连接到入口的预定一个容器输送到所述基板处理室的检查基板输入许可步骤。