[发明专利]用于制造平板显示器件的装置和方法有效
| 申请号： | 200510132211.1 | 申请日： | 2005-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1877452A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 金珍郁 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;祁建国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制造平板显示器的方法和装置。通过采用软模而不采用光刻工序的构图工序构图薄膜层。在基板上顺序形成薄膜层和抗蚀剂。通过采用软模向抗蚀剂施加压力形成预定抗蚀剂图案。该抗蚀剂具有大于或等于2D的偶极距μ值，或者具有小于6(cal/cm3)1/2或者大于11(cal/cm3)1/2的溶解参数值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 平板 显示 器件 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于制造平板显示器的装置，包括软模，用于通过向在基板上的薄膜层上形成的抗蚀剂施加压力以形成指定的抗蚀剂图案；其中抗蚀剂具有偶极距μ为2D或者溶解参数值小于6(cal/cm3)1/2或者大于11(cal/cm3)1/2中至少之一。
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