[发明专利]流量测量装置及其制造方法有效
| 申请号： | 200510129617.4 | 申请日： | 2005-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1982854A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 苏峻民;庄汉声;何宜霖 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01F1/56 | 分类号： | G01F1/56;G01F1/64 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;潘培坤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种测量装置，其用以测量一流体的流量，该测量装置包括一基座、一流道以及至少两个电子电路，其中该流道设于该基座上，该流体在该流道中流动，该流道具有至少两个截面；以及所述至少两个电子电路分别与所述至少两个截面电性连接，所述至少两个电子电路检测对应的所述至少两个截而的信号变化，再根据所检测的信号变化来计算该流体的该流量。这种测量装置利用一微电子机械系统制程制备。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 测量 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置，用以测量一流体的流量，该测量装置包括：一基座；一流道，设于该基座上，该流体在该流道中流动，该流道具有至少两个截面；以及至少两个电子电路，其分别与所述至少两个截面电性连接，所述至少两个电子电路检测对应的所述至少两个截面的信号变化，再根据所检测的信号变化来计算该流体的该流量。
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