[发明专利]电容器结构无效
申请号: | 200510129158.X | 申请日: | 2005-10-08 |
公开(公告)号: | CN1783373A | 公开(公告)日: | 2006-06-07 |
发明(设计)人: | J·P·卡哈兰;M·A·热兹尼科;J·E·谢姆纳;R·哈里哈伦 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | H01G4/005 | 分类号: | H01G4/005;H01G4/018;H01G4/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沙永生 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 公开了一种适用于形成电容器的结构,包括设置在电极表面上的电容器介电材料。还公开了形成该结构的方法。 | ||
搜索关键词: | 电容器 结构 | ||
【主权项】:
1.一种结构,其包括具有第一和第二表面的电极以及设置在电极第一表面上的电容器介电材料,其中所述电极的第一表面具有≤200nm的Ra值、≤2000nm的Rz(din)值和≤250nm的W值。
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