[发明专利]液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种液晶显示装置及其制造方法，该液晶显示装置的TFT阵列基板使用较现况为少的光刻程序数或光罩数，以降低制造成本。本发明提供一种利用三道光罩即可形成显示装置用TFT阵列基板的新技术，此是借助一种新颖技术和周知的四道遮罩程序的组合而达成者。该新颖技术是于使用感光性丙烯酸树脂膜形成接点的光刻程序中，借着具有相位移转效果的光罩，仅凭一次光刻程序同时形成具有在一般的接触孔部分所需的锥形图案及具有比较接近垂直的锥形状的微细图案，后续程序不必使用光刻程序就可分离像素电极图案。

主权项

1.一种液晶显示装置，其特征在于：在第一透明绝缘基板及和该第一透明绝缘基板相向的第二透明绝缘基板或彩色滤光片之间充填液晶而成，于该第一透明绝缘基板的一表面上设有排列成二维阵列的单位像素，各单位像素至少具有：绝缘栅极型电晶体、兼作为该绝缘栅极型电晶体的栅极的扫描线、兼作为该绝缘栅极型电晶体的源极配线的信号线、及和该绝缘栅极型电晶体的漏极配线连接的像素电极；于该液晶显示装置中，至少在第一透明绝缘基板的一表面上形成扫描线、绝缘栅极型电晶体以及信号线；在第一透明绝缘基板上形成钝化绝缘层，该钝化绝缘层至少在漏极配线上方具有开口部，而且在像素电极形成区域外的区域形成多条未到达底部的细宽度的沟槽，该钝化绝缘层的上层部为感光性有机绝缘层；且于该感光性有机绝缘层上被覆成为像素电极的导电膜。