[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜、以及具备固化膜的元件有效
| 申请号： | 200510128535.8 | 申请日： | 2005-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1782878A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 诹访充史;藤原健典;妹尾将秀;饭森弘和 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;H01L29/786;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;邹雪梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供高感光度的正型感光性硅氧烷组合物，以用于形成具备高耐热性、高透明性、低介电常数性的特性的、TFT衬底用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导路的芯或者包层材料。其是含有硅氧烷聚合物、醌二叠氮化合物、溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，其中组合物的固化膜在波长400nm下平均3μm膜厚的透光率为95％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 硅氧烷 组合 形成 固化 以及 具备 元件 | ||
【主权项】：
1.正型感光性硅氧烷组合物，其是含有硅氧烷聚合物、醌二叠氮化合物、溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，其中组合物的固化膜在波长400nm下平均3μm膜厚的透光率为95％以上。
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