[发明专利]加速度传感器的结构及其制造方法有效
| 申请号： | 200510128528.8 | 申请日： | 2005-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1793938A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 甲斐孝之 | 申请（专利权）人： | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本东*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种特别是在利用微细加工处理制造的加速度传感器中可容易调节灵敏度、且关于所形成的加速度传感器的形成不良可容易地进行良否判定的加速度传感器及其制造方法。本发明提供一种加速度传感器，其具有台座部、与台座部连接的梁部、和与梁部连接的重锤部，其特征在于，在梁部的正下方具有支承梁部的突起部。进而，提供一种加速度传感器，其特征在于，突起部具有支承梁部的第一突起部分和邻接于第一突起部分的第二突起部分。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体加速度传感器，具有台座部、与前述台座部连接的梁部、和与前述梁部连接的重锤部，其特征在于，在前述梁部的正下方具有支承该梁部的突起部。
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