[发明专利]真空机械手

摘要

本发明涉及半导体刻蚀设备传输系统中的真空传输段的真空机械手，包括两个由固定铰链连接的伸缩臂，两伸缩臂各自包括固定臂、第二手臂、第三手臂和第四手臂和第五手臂，各手臂之间依次通过铰链结构连接，在第五手臂的自由端设置有托载晶片的终端受动器，所述终端受动器的中心和第四手臂的中心轴位于同一直线上，并垂直于固定臂和工艺腔室的中心。该机械手与目前通常使用的机械手相比，运动路径得到了优化，因而节省了传输时间，在工艺时间较短的情况下，提高了机械手的传输效率以及系统的产出率，同时采用正方形的传输腔室减少了占地面积；另外，该技术方案同时可以实现200mm晶片和300mm晶片加工的兼容性。

主权项

1.真空机械手，其特征是包括通过铰链结构固定在电动机驱动轴上的固定臂(1)，在固定臂(1)的两端对称地鱼贯设置有第二手臂(2)、第三手臂(3)和第四手臂(4)，各臂之间通过铰链结构连接，在第四手臂(4)的自由端设置有托载晶片的终端受动器(5)，所述终端受动器的中心和第四手臂(4)的中心轴位于同一直线上，并垂直于固定臂(1)和工艺腔室(9)的中心。