[发明专利]一种抽真空阀门控制装置有效
| 申请号： | 200510126264.2 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1851599A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 杨崴 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D16/00 | 分类号： | G05D16/00;G05D16/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 练光东 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抽真空阀门控制装置，包括旁路阀1、隔离阀2、阀门控制单元3，旁路阀1和隔离阀2并联在真空泵5和被抽真空腔室6之间，阀门控制单元3控制阀门1、2的开闭，还设有一个真空开关4，真空开关4检测被抽真空腔室6的压力，并比较阀门开闭压力标准值，根据比较结果发送打开/关闭旁路阀和/或隔离阀的开关触点信号给阀门控制单元3，阀门控制单元3根据检测结果确定时间控制旁路阀1和/或隔离阀2的开闭。使用本装置可以在对反应腔室抽真空的过程中有效的控制颗粒污染，并且在机台状态如腔室状态、真空泵抽速改变的时候同样可以有效的控制颗粒污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 阀门 控制 装置 | ||
【主权项】：
1、一种抽真空阀门控制装置，包括旁路阀(1)、隔离阀(2)、阀门控制单元(3)，旁路阀(1)和隔离阀(2)并联在真空泵(5)和被抽真空腔室(6)之间，阀门控制单元(3)控制旁路阀(1)、隔离阀(2)的开闭，其特征在于，还设有一个真空开关(4)，真空开关(4)检测被抽真空腔室(6)的状态，并将检测信号传送给阀门控制单元(3)，阀门控制单元(3)根据检测信号控制旁路阀(1)和/或隔离阀(2)的开闭。
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