[发明专利]具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜

摘要

本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、偏振分光镜(10)，放置在偏振分光镜(10)反射光路上的1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在偏振分光镜(10)透射光路上的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，还包括放置在偏振分光镜(10)和聚光透镜(6)之间的多光束发生器(12)。本发明可广泛用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。

主权项

1.一种具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、偏振分光镜(10)，放置在偏振分光镜(10)反射光路上的1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在偏振分光镜(10)透射光路上的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，其特征在于还包括放置在偏振分光镜(10)和聚光透镜(6)之间的多光束发生器(12)。