[发明专利]烘焙装置、冷却加热板的方法及基板处理设备和方法无效
| 申请号： | 200510123420.X | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1940730A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 姜熙荣;任盛焕 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;朱世定 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种对烘焙装置中使用的加热板进行冷却的方法。根据该方法，通过在加热板上提供比该加热板温度更低的温度调整板，利用该温度调整板来冷却所述加热板。用于冷却基板的冷却板使所述温度调整板冷却之后，将该温度调整板移动至所述加热板。 | ||
| 搜索关键词： | 烘焙 装置 冷却 加热 方法 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种烘焙装置，包括：加热板，用于加热基板；温度调整板，用于放置在加热板上冷却该加热板；以及输送机构，用于将温度调整板移动至加热板上。
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