[发明专利]涂布装置有效
| 申请号： | 200510120262.2 | 申请日： | 2005-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN1796001A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 高村幸宏;增市干雄;松家毅;铃木聪;西牟田浩史 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/04 | 分类号： | B05C5/04;B05C11/10;B05D5/06;H05B33/10 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，将向下垂直方向的成为直线棒状的液柱状态的涂布液排出在基板上，来涂布该涂布液，其特征在于，具有：喷嘴：从其前端部以上述液柱状态排出上述涂布液，载物台：将上述基板载置在其上面，喷嘴移动机构：在上述载物台上的空间，使上述喷嘴在横穿该载物台面的方向进行往复移动，接液部：在上述喷嘴移动机构使上述喷嘴沿着上述横穿方向移动到从上述载物台上偏离的位置时，接受从该喷嘴排出到上述载物台外的上述涂布液；在上述接液部的上面形成有狭缝状的开口，该开口在从沿上述横穿方向配置在从载物台上偏离的位置上的上述喷嘴的前端部向下方垂直的位置与该横穿方向平行，通过该开口，回收从上述喷嘴排出的液柱状态的涂布液。
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