[发明专利]等离子清洁设备及其整合系统

摘要

本发明公开了一种具排除有机及氧化污染且能够有效散热、清除废气功能的等离子清洁设备，其包括：电极部、放热部、原料气体导入部、原料气体供给导引部、及吸排气部。该放热部具有接触于该电极部一侧的突出块放热板以及一与该突出块放热板配合的放热墙，通过该放热部与该电极部的接触，以进行该电极部的散热。而且，该吸排气部上端具有与外部相通的第一气体通路，该吸排气部下端具有与外部相通的第二气体通路，通过该第一气体通路与该第二气体通路的配合，以产生用于散热的排气功能、用于排除废气的吸气功能或兼具上述两者的功能。

主权项

1、一种等离子清洁设备，其特征在于，该等离子清洁设备包括：电极部，其具有多个以一预定距离间隔并排的电极；放热部，其具有接触于该电极部一侧的突出块放热板以及一与该突出块放热板配合的放热墙；原料气体导入部，其形成于该放热部一侧，并与该突出块放热板和该放热墙之间所形成的通道的一端相通，以导引原料气体经过该放热部；原料气体供给导引部，其与该突出块放热板和该放热墙之间所形成的通道的另一端相通，以接收经过该放热部的原料气体；以及吸排气部，其设置在与该原料气体导入部分离的空间上，并且该吸排气部上端具有与外部相通的第一气体通路，该吸排气部下端具有与外部相通的第二气体通路。